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紫外激光晶圓劃片機

  華工激光自主研發的紫外激光晶圓劃片機,具有國際先進水平。采用高質量紫外光作為切割源,切割后的芯片質量和切割效率,遠超過刀片切割設備,具有自動對位自動調整裝置,提高了自動化程度,操作更加便捷。

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  華工激光自主研發的紫外激光晶圓劃片機,具有國際先進水平。采用高質量紫外光作為切割源,切割后的芯片質量和切割效率,遠超過刀片切割設備,具有自動對位自動調整裝置,提高了自動化程度,操作更加便捷。紫外激光冷光源,熱影響區小,切線質量優越。無接觸式加工避免加工產生的應力,可以有效提高晶粒的切割質量和效率,加工后的芯片具有優良的電學特性。配有手動切割和CCD圖像處理系統,能實現手動切割或自動切割。

高質量光束,焦點小,切割后晶粒質量優越,擁有極高的成品率;
整機高可靠性、高穩定性、高安全性,激光器壽命長;
高精度二維運動平臺,高精度旋轉平臺,按鍵面板控制,操作簡單便捷;

先進的硬件控制技術和智能化軟件,圖像自動識別處理和定位功能。

應用于半導體制造行業單、雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓,單、雙臺面可控硅晶圓,IC晶圓切割等半導體晶圓片的切割劃片。


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華工激光自動化解決方案為GPP企業帶來新機遇

名稱紫外激光晶圓劃片機
波長355nm
激光功率5W
定位精度±4μm
XY光柵尺分辨率0.1μm
Z軸精度±1μm
旋轉軸精度±20″
CCD定位精度1-2μm
重復定位精度±1μm
工作臺有效行程250mm×250mm
最大切割尺寸4英寸
切割線寬20-30μm
切割深度50-80μm
切割速度60mm/s
備注:1 生產能力按雙排160CU每天連續生產20小時以上計算而得;
2 本公司保留對上述參數更改的權利。若您對機器有特殊要求,我們可專門定制,歡迎來電400-888-8866洽談。
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